1.中華民國84年2月18日行政院（84）台財字第 05811  號函修正。
2.中華民國86年5月2日行政院（86）台財字第 17354  號函修正名稱及全文 8  點（原名稱：外國營利事業收取製造業及其相關技術服務業之權利金暨技術服務報酬申請免稅案件審查原則）。
3.中華民國96年7月6日財政部台財稅字第 09604531350  號令修正發布全文 11 點；並自96年7月6日生效（原名稱：外國營利事業收取製造業技術服務業及發電業之權利金暨技術服務報酬免稅案件審查原則）。
4.中華民國103年1月29日台財稅字第10304503280號及經工字第10302600970號令修正「外國營利事業收取製造業技術服務業與發電業之權利金及技術服務報酬免稅案件審查原則」，並自中華民國100年1月1日生效，營利事業與外國營利事業於該生效日後簽約者，適用修正後規定。
5.中華民國104年9月25日財政部台財稅字第10404634860號令、經濟部經工字第10404604500號令修正「外國營利事業收取製造業技術服務業及發電業之權利金及技術服務報酬免稅案件審查原則」第8點、第11點之1規定，自即日生效。
6.中華民國115年5月13日財政部台財稅字第11504513770號令、經濟部經產字第11551011270號令修正「外國營利事業收取製造業技術服務業與發電業之權利金及技術服務報酬免稅案件審查原則」，名稱並修正為「外國營利事業收取製造業技術服務業與發電業之權利金及技術服務報酬免納所得稅案件審查原則」，並自即日生效。